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    旋轉硅靶

    • 所屬分類:旋轉硅靶
    • 瀏覽次數:729次
    • 發布日期:2022/10/21 13:22:35
    • 產品概述

    ~硅旋轉靶材~

    化學組成:Si(硅)
    制作工藝:HPS
    密度:2.2g/cm3(>95%)
    電阻系數(20°):<1?.㎝
    純度:>99.95
    旋轉尺寸:4000㎜×9t㎜

    雜質含量(Unit:ppm)




    ~Nb2OX旋轉靶材~
    化學組成:Nb2Ox
    制作工藝:HPS
    密度:4.3g/cm3(>95%)
    電阻系數(20°):<0.1?.㎝
    純度:>99.95
    旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

    雜質含量(Unit:ppm)




    ~鋁旋轉靶材~
    化學組成:AL(鋁)
    制作工藝:One-batch forming
    密度:2.7g/cm3(>99.99%)
    純度:>99.99%
    旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

    雜質含量(Unit:ppm)




    ~鉻旋轉靶材~
    化學組成:Cr(鉻)
    制作工藝:HPS
    密度:6.8g/cm3(>95%)
    純度:>99.5
    旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

    雜質含量(Unit:ppm)




    ~AZO旋轉靶材~
    化學組成:ZnO.Al2O3(98:2wt%)
    制作工藝:HPS
    密度:4.3g/cm3(>95%)
    純度:>99.95%
    電阻系數(20°):<0.0005?.cm
    旋轉尺寸:4000㎜×9t㎜
    雜質含量(Unit:ppm)
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